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自动椭圆偏振测厚仪

简要描述:

TPY-2 型自动椭圆偏振测厚仪采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及自动控制等特点。

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自动椭圆偏振测厚仪 型号:TPY-2

自动椭圆偏振测厚仪
仪器介绍
采用消光法自动控制,自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度和灵敏度更高等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。
规格参数
测量范围薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10
测量厚度**小示值(nm)≤1
偏振器方位角范围0°- 180°读取分辨率为0.05°
偏振器步进角0.014°/步
测量膜厚(nm)±1
折射率重复性精度±0.


度盘刻度每格1度01
仪器测量精度(nm)±0.5(薄膜厚度在10-100nm时)
入射角调节范围20°~90°精度为0.05°
入射光波长(nm)632.8
光学中心高(mm)80
允许样品尺寸(mm)φ10-φ140(或任意形状),厚度≤15
外形尺寸(mm)590*390*320
主机重量(kg)28 
配置表

度盘刻度每格1度
仪器测量精度(nm)±0.5(薄膜厚度在10-100nm时)
入射角调节范围20°~90°精度为0.05°
入射光波长(nm)632.8
光学中心高(mm)80
允许样品尺寸(mm)φ10-φ140(或任意形状),厚度≤15
外形尺寸(mm)590*390*320
主机重量(kg)28 
配置表



型号
名称
数量
基本配置
TPY-2
椭圆偏振测厚仪主机
1台
TPY-2
主机电控箱
1套

二氧化硅膜样片
1片
TPY-2
椭圆偏振测厚仪**用软件
1套
需另配
计算机及打印机
1套


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