数字式四探针测试仪

简要描述：

数字式四探针测试仪　型号：TG-SX1934
根据单晶硅物理测试方法标准并参考美国A.S.T.M 标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）测试仪器。

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详细介绍

数字式四探针测试仪　型号：SX1934

数字式四探针测试仪

产品特点
四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M 标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻（薄层电阻）测试**用仪器。
仪器以大规模集成电路为核心部件，采用旋扭式开关控制，及各种工作状态LED指示。应用微计算机技术，使得测量读数更加直观、快速。整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。
测量范围电阻率/Range：10-4—105Ω/□(可扩展/extended range) 方块电阻(薄层电阻) /Sheet resistance：10-3—106Ω/□ 电阻/resistance：10-6—105Ω
可测晶片直径（Z大） φ100mm(标配)，方形230×220mm(Z大)
Z大电阻测量误差(按JJG508-87)
0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω≤±0.3%读数±2个字
外形尺寸 400mm×440mm×120mm
仪器重量电气主机：约4kg 　　测试台：约5kg
测试环境温度：23±2℃ 相对湿度：≤65％；无高频干扰无强光照射
电源 220V±10%(50Hz) 功耗≤35W
探头
Sx系列四探针探头是采用综合性能优异的高分子材料、耐磨和硬度高的探针研制的测量数据稳定、可靠、准确度高、耐用性能好四探针探头。所有技术指标符合国家标准，同时符合ASTM标准有关规定。
间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻≥1000MΩ；机械游移率:≤1.0%；
探针压力：TZT-9A/9B: 12-16牛顿（总力） TZT-9C/9D 5-8 牛顿（总力）

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