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功能薄膜特性测试仪

简要描述:

功能薄膜特性测试仪 型号:TC-DHFC-1
薄 量仪两部分组成。具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、测量范围宽、结构紧凑、

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功能薄膜特性测试仪 型号:DHFC-1

功能薄膜特性测试仪

仪器由四探针测试仪和薄膜电导率测量仪两部分组成。具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好、测量范围宽、结构紧凑、使用方便等特点。仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能的测试。 
    四探针测试仪由主机、测试架等部分组成。可以测量片状、块状半导体材料的径向和轴向电阻率,测量扩散层的薄层电阻(亦称方块电阻)、功能材料暗电导和光电导及温度的变化的特性,还可以对金属导体的低、中值电阻进行测量。测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成,故定位准确、游移率小、寿命长。

    薄膜电导率测量仪由样品室、温控系统、真空系统、高阻测量系统等部分组成。
◆ 测量范围:电阻测量范围:1×106~1×1017Ω;
     电阻率:0.001~200Ωcm;
     电导率:0.005~1000s/cm;
◆ 可测晶片直径: 200mmX200mm;
◆ 探针:碳化钨或高速钢;探针间距:1±0.01mm;
◆ 针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 
机械游移率:≤0.3%;
◆ 本底真空度:≤10Pa,气压可控范围:10~400Pa;
◆ 衬底加热 温度:室温~200℃。

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